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2019年05月29日
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“納米臺階高度樣板的裝備、比對和溯源及相關理論與技術的研究”科技成果鑒定會圓滿結束



發布時間:2016-12-12 09:12:44


        2016年12月3日,由中國計量測試學會組織的西安交通大學 “納米臺階高度樣板的裝備、比對和溯源及相關理論與技術的研究”科技成果鑒定會圓滿結束。
        此次鑒定會在西安交通大學機械工程學院進行。同濟大學李同保院士、中國計量科學研究院高思田研究員、國家納米科學中心納米標準研究室葛廣路研究員、陜西省計量科學研究院秦宇副院長、北京理工大學趙維謙教授、天津大學胡曉東教授和浙江理工大學陳本永教授作為鑒定專家參與了該項目的鑒定工作。



        鑒定會由李同保院士主持。在鑒定會上,鑒定委員會聽取了蔣莊德院士所作的項目總體報告,包括項目研究背景與意義、技術路線與研究內容、主要技術指標與技術比對、項目研究創新點和技術應用實例;課題組楊樹明教授作的應用、檢測和查新報告。隨后專家組審查了項目鑒定資料,并對西安交通大學的進行了現場考察。隨后,鑒定專家與西安交通大學課題組開展了熱烈地質詢討論。







        經過全體評審專家認真評審,一致認為:該項研究總體技術水平達到國際先進水平,其中在基于ALD的納米臺階高度樣板制備方面達到了國際領先。成果滿足納米幾何量測量需求。鑒定委員會同意通過鑒定。建議盡快納入國家納米計量標準體系。
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