快乐12开奖走势图
2019年05月29日
中國計量測試學會特別聲明
站點搜索
新 聞 動 態


【通訊稿】易度儀器順利取得中國首個層流質量流量計CPA證書



發布時間:2019-01-23 14:55:11


 
 
        近日,易度儀器收獲喜訊,其自主研發的通用型層流質量流量計系列產品,通過中國計量科學研究院的計量器具型式評價試驗,獲得中國首個層流質量流量計計量器具型式批準資質證書(簡稱CPA證書)。產品精度達到國家可批準最高級別1.0級,重復性0.1%,響應時間0.01S。
        一直以來,小微氣體、液體流量的精確測量和控制被西方發達國家技術壟斷,這項技術在眾多高端制造領域,包括半導體、生物制藥、新材料等都屬于重要核心技術。易度儀器層流質量流量計的研發和誕生,是公司博士、碩士組成的高素質創業骨干,聯合國內一流的專家學者等組成研發團隊,面對國外技術封鎖,自2011年以來恪守流體測控領域,自主創新,不懈努力的結晶。

苦心孤詣:七年研發,挑戰世界難題
 
        2011年,這個以“80后”為主力軍的研發團隊開始向國外先進技術發起挑戰,當時國外進口的設備獨步天下,相關技術也被西方發達國家壟斷,國內只有個別廠商可以生產一些低端產品,精度低,重復性差,只能配套于低端產業,由于缺乏核心傳感器技術,即便拆開了國外的設備,也難以突破。無數事實表明:試圖通過仿制國外先進產品的路是走不通的。從研發一開始,易度團隊就清醒地認識到,高端精密儀器屬于技術密集型產品,只有通過自主創新,遵循“概念論證”——“關鍵技術驗證”——“方案驗證”——“原理樣機”——“工程樣機”——“產品樣機”——“產品”的技術路線,才能真正掌握技術,研發出高精尖的產品。
       這一技術路線耗時之長、成本之高、風險之大,他們中很多人放棄了高薪的工作、舒適的生活,有家人的不理解,也有周圍人的嘲笑。當時在微流量測量領域擺在研發團隊面前的有兩條技術方向:一是以傳熱學原理為基礎的熱式質量流量計,主要由歐美日的六七家公司占據全球絕大部分市場,是技術的主流,技術成熟度較高,但國內一直無法掌握熱式傳感器這一技術核心;另外一條是以“哈根泊肅葉定理”為基礎的層流質量流量計,其核心的層流傳感器研發由于技術難度更高,制造工藝極為復雜,讓那些生產熱式質量流量計的國際頂級廠商也望而卻步。幾十年來,全球范圍內唯一取得重大層流技術突破的只有一家美國公司,但離實現大規模商業應用還有不小的距離。
       最終,考慮到熱式技術已趨于成熟,發展空間趨于飽和,在充分調研后,這群80后“初生牛犢”選擇了更加先進,擁有廣闊技術發展空間,但技術門檻更高的層流質量流量計技術路線,開始專注于攻克核心技術——“通用型層流傳感器”的研發。
  
獨立自主:攻克核心,成就中國第一
 
      毫不夸張地說,一個國家微流體測控水平的高低,決定著高端制造業水平的高低。小微流量測控領域通常測量范圍在0.0001ml/s~100000ml/s,跨度范圍超過9個數量級,而每次精確測量響應速度要小于0.01s,并保證連續兩次測量的相對誤差小于千分之一,技術難度可想而知。
        易度團隊歷時七年苦心孤詣的研究,從2013年第一款層流傳感器原理驗證機的誕生,到2014年第一代控制板原理驗證機的研發,2015年底第一臺層流質量流量計工程樣機的研發成功,一直到2017年6月,第一代層流質量流量計的問世,2018年底順利通過國家計量院的型式評價認證。這其中沒有現成的經驗可以借鑒,所有的工作都要從零開始,一遍一遍地設計,一次一次地試驗,失敗了,重新開始,不完美,重新改進,研發過程是痛苦的,但值得驕傲的是,易度團隊堅持了下來,啃下了一個個硬骨頭,并掌握了這項核心技術,成就了今天的產品。
       目前該項技術已獲國家發明專利兩項,同時在全球PCT檢索中具有新穎性。在國內,也只有易度公司掌握了通用型層流測控技術,產品經過國家最高權威機構的驗證,成為中國首家通過認證的通用型層流質量流量計生產商。
 
永無止境:高效專注 增添中國力量
 
        易度儀器成功研發出的層流質量流量計和控制器,不僅能實現對氣體和液體質量流量的測量,還能精準控制,是國內第一款自主研發的層流原理數字化產品。經過無數次技術改進,產品正日趨成熟,實現了在-20℃到70℃環境下的正常使用,精度控制在1.0級以內,重復性0.1%,響應時間達到0.01S。
       聚焦用戶過程控制,半導體300多項關鍵工藝中,有光刻、氣相沉積、單晶生產等超過70%的工藝項點都與微流量測量相關;石墨烯等新材料的生產制造過程中,最常用的方法增強等離子的化學氣相沉積,也需要精準配給氣體和液體;等離子體發動機作為未來航天發展方向,在生產制造工藝和地面測試環節,需要精確測量小于1ml/min稀有氣體的質量流量,這是等離子體發動機穩定工作的關鍵測試工藝。
       近五年,全球微流量測量領域業務每年以30%的速度迅猛增長,隨著以芯片制造、生物醫藥、新材料、3D打印和微納制造為代表的新興高端制造業的迅猛發展,更加精細化的制造工藝對微流量測量控制儀器提出了更高要求。在當前國家大力發展高端制造業的背景下,易度儀器有責任也有信心繼續精鉆技術,專注流體測控領域,解決微流量測控領域難題。
 

 
 
 
 
 
 
 
?

友情鏈接??????????

? 2015-2017 中國計量測試學會 版權所有 ICP證:京ICP備14006989號-1 ?? ?
最佳瀏覽分辨率1280*800或1440*900為了本系統能更好的為您服務請使用IE8.0或以上版本瀏覽器
快乐12开奖走势图 重庆时时彩每天规律 乐翻二人麻将手机版 求北京pk拾计划软件 pk10走势软件手机版 双色球复式投注与中奖金额计算表 mg摆脱豪华版讲解 重庆时时彩组选包胆怎么玩 抢庄牌九特色游戏 欢乐彩票网是合法的吗 时时彩攻略与实战技巧